PEEK硅片座具有高硬度、極少的顆粒產生量、高潔凈度等特性,此外,PEEK材料還具有卓越的耐化學腐蝕性、耐磨損性、耐水解性、非常優異的電介質強度及出色的耐輻射性能,因此PEEK材料是半導體行業的理想材料。
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